一、准分子激光概述1.定义 准分子激光器源自 “excited dimer”一词，是高电压泵浦的气体激光，是一种波长在紫外波段的脉冲气体激光器。气体由惰性气体如氩氪等和活性气体如氯或氟。当电激发后，气体混合物在短时间聚成活跃态并发出紫外激光，有XeF、KeF、ArF、XeCl、KrCl、ArCl等。 具有脉冲能量大、峰值功率高、且波长在紫外区域的特点。2.产生机理（1）基本能级结构、光谱特性 准分子是一种在激发态复合成分子，而在基态离解为原子的不稳定缔合物，激光跃迁发生在束缚的激光态到排斥的基态